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功能豐富

提供最佳測量精度

Rich functions to provide the best measurement accuracy

真空應(yīng)用解決方案提供商

首頁 > 光學(xué)設(shè)備 > 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

Optical thickness monitor Accurate control of deposition rate and thickness 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

獨(dú)特的頻率測量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量，賦予監(jiān)控過程卓越的可重復(fù)性。通過沉積控制器，可利用 QCM 傳感器對(duì)沉積過程實(shí)現(xiàn)速率控制。匯成真空可按您的要求為您提供具有從最基本到最齊全功能的任何沉積控制器。

即使在速率極低的情況下也可確保獲得最高、最穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，通過自動(dòng)測定沉積材料的比值，可提高厚度測量的精度，支持多個(gè)來源同時(shí)共沉積，USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄。

通過光學(xué)膜厚監(jiān)控儀，您可以極其準(zhǔn)確地控制沉積速度和厚度，能夠達(dá)到幾乎任何層數(shù)，安裝輕松且可靠性極高，從而確保生產(chǎn)效率。匯成真空提供了一種擁有成本極低的儀表，為您帶來前所未有的價(jià)值。無論您的控制需要屬于生產(chǎn)還是研發(fā)領(lǐng)域，都能從光學(xué)膜厚監(jiān)控儀中找到完美的解決方案。

Product Advantage.

產(chǎn)品特點(diǎn)

光學(xué)膜厚監(jiān)控儀包括以下關(guān)鍵功能：

自動(dòng)

自動(dòng)測定沉積材料，提高厚度測量的精度
直觀

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r
簡單

易于操作和維護(hù)
通用

高性能、高通用性
強(qiáng)大存儲(chǔ)

USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
連網(wǎng)通信

提供以太網(wǎng)連接

IC6
XTC/3
SQC-310

型號(hào)	IC6
測量性能
頻率分辨率	±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/測量 (1)	±0.00433 ?
測量頻率范圍	6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)	0.50%
測量周期	0.10 s
多個(gè)測量值平均	0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設(shè)計(jì)功能
Auto Z	yes
自動(dòng)色調(diào)	yes
共沉積	yes (up to 6 sources)
過程配方和數(shù)據(jù)管理
材料計(jì)劃	32
過程層（每個(gè)過程）	200
過程	50 (processes can be linked together)
USB 存儲(chǔ)器	yes
數(shù)據(jù)記錄	yes
硬件功能
傳感器 (3)
單	8
雙 / CrystalTwo®	4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®	8
Crystal 12®	8
通用	8
來源控制
來源數(shù)量 (4)	up to 6
來源控制電壓	0 to +/-10 V, adjustable
輸出分辨率	15 bits over full range (0 to 10V)
坩堝位置	64
輸入 / 輸出
輸入	14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
輸出	8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
記錄器輸出 (4)	0 to +10 V, adjustable
邏輯語句	100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信
標(biāo)準(zhǔn)	RS232
可選	Ethernet
操作
電源要求	100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作溫度	0 to 50°C (32 to 122°F)
尺寸	133mm x 483mm x 330 mm
重量	23 lbs (10.5 kg)
(1) 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲 (2) 隨過程變化；數(shù)值表示典型的精度 (3) 每種類型的最大配置 (4) IC6 有 6 個(gè) DAC 輸出標(biāo)準(zhǔn)，還可再選擇再添加 6 個(gè)。可將 12 個(gè)中的任何一個(gè)配置為來源控制電壓或記錄器輸出，但可同時(shí)控制的來源數(shù)量為 6

Application cases.

應(yīng)用案例

型號(hào)	XTC/3
頻率分辨率	±0.028 Hz @ 6 MHz
測量頻率范圍	6.0 to 5.0 MHz (fixed)
測量周期	0.25 seconds
厚度和速率分辨率/測量 (1)	±0.034 ?
測量技術(shù)	ModeLock
過程數(shù)量	1
層數(shù)	1
材料計(jì)劃（或薄膜）數(shù)量	9
傳感器輸入數(shù)量	2
CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持	Yes
支持 XTAL 2 開關(guān)	Yes
來源輸出數(shù)量	2
計(jì)算機(jī)通信	RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
最大 RS232 波特率	115.2 KBaud
自動(dòng)晶體轉(zhuǎn)換	Yes
繼電器數(shù)量	12, Not Event Assignable
可編程繼電器功能數(shù)量	1
每個(gè)繼電器的功能	1
繼電器額定電壓	30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
輸入數(shù)量	8 TTL, 24VDC Max
可編程輸入功能數(shù)量	1, Not Event Assignable
記錄器輸出數(shù)量	1
手動(dòng)電源 / 手持控制器	Yes
排氣管風(fēng)扇	No Exhaust Fan
測試模式	Yes
閘門延遲	Yes
二次成型模具	Yes
外殼尺寸	half rack, 2U high
速率和厚度顯示分辨率	0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通過輸入選擇膜	Yes
用戶指南語言	English, Chinese
控制環(huán)路	PID
用于從 PC 操作的軟件	Yes
數(shù)據(jù)記錄	Yes
質(zhì)量和穩(wěn)定性功能	Yes
采樣保持 (RateWatcher?)	Yes
坩堝選擇	Yes
坩堝反饋輸入	Yes
選擇控制電壓極性	Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序鎖定碼	Yes
帶圖形的顯示器	Yes
用戶標(biāo)記過程（手機(jī)式字母數(shù)字輸入）	No
用戶標(biāo)記膜（手機(jī)式字母數(shù)字輸入）	No
傳輸傳感器控制	Yes
XTC/2 RS232 通信兼容性	Yes (limited)
(1) 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲

Application cases.

應(yīng)用案例

型號(hào)	SQC-310
測量
QCM 輸入	2 (4 optional)
測量頻率范圍	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum
頻率分辨率 (1)	± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/測量 (2)	±0.015 ?
頻率穩(wěn)定性	± 2 ppm total, 0 to 50C
測量周期	0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率顯示	0.01 ?/sec
控制
存儲(chǔ)	100 processes, 1000 layers, 50 films
控制輸出	2 (4 optional)
輸出信號(hào)	± 0 to 10 VDC, 15 bits
數(shù)字輸入/繼電器	8/8 (16/16 optional)
數(shù)字輸入	5 VDC non-isolated
繼電器	SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口	Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
遠(yuǎn)程電源控制	Optional (IPN 782-900-017)
顯示器
類型	1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
圖表	Rate, deviation, power or full screen numeric
一般
功率	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
合規(guī)性	CE, RoHS
Windows® 軟件	Included
殼體/安裝	5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒測量間隔的分辨率 (2) 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6 赫茲，0.25 秒測量間隔

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