公司自行研發設計、加工的新型中頻圓柱旋轉陰極，提高靶材利用率，降低生產成本。

有效防止擋板閥外表面出現冷凝水現象，提高設備的可靠性并延長使用壽命，使設備安全運行。

與傳統的速度張力控制相比結構簡單，控制方便，后期維護成本的減少，運行可靠性能穩定。

可對鍍膜前的基材進行預清洗，提高成膜附著力，工作模式包括聚焦模式和散焦模式。

確保工藝氛圍均勻性。

傾斜式箱體設計實現了基片在裝卸過程中無夾具印，解決了大型超薄基片裝夾過程中的扭曲問題。

無水電引入系統的新型插板閥，減少故障發生率，提高生產效率。

從工廠現場自動化設備中采集實時運行狀態、運行參數、加工信息和質量信息，并傳輸到監控終端分解成用戶所需要的報表、圖表和可視化界面形式顯示，使生產管理人員能及時監控生產設備的運行狀況和能力，合理安排生產及時調度，保障生產設備處于最佳狀態，生產順利、有序、高產、低耗進行。

通過等離子體發射光譜監測來控制氣體流量和電壓，控制優化反應濺射的狀態，從而獲得最佳的沉積速率與膜層質量。

可靈活改變工藝配置，適應各種鍍膜要求。